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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "Lithography".ekeyword (精準) and year="102"


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    微米級積層製造系統研究與開發
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生： 吳威建   指導教授： 鄭正元
    • 本論文主要方向為積層製造(Additive Layer Manufacturing)系統結合無光罩微影(Maskless lithography)系統，並嘗試進行大面積影像拼接處理。 積層製造顧名…
    • 點閱：270  下載：10 

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    投影式微影之光源模態最佳化研究
    • 自動化及控制研究所 /102/ 碩士
    • 研究生： 吳韋辰   指導教授： 郭鴻飛
    • 微影製程有兩項重要指標，一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上，二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
    • 點閱：533  下載：33 

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    圖案化智能高分子刷製備繞射光柵感應器於矽晶圓表面
    • 材料科學與工程系 /102/ 碩士
    • 研究生： 張瑀翔   指導教授： 陳建光
    • 本實驗使用原子轉移自由基聚合法（Atom transfer radical polymerization, ATRP）於圖案化矽晶圓表面進行表面起始聚合（Surface-initiated poly…
    • 點閱：234  下載：0 
    • 全文公開日期 2019/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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